【摘 要】
：
在重掺硅衬底片背封过程中,硅片表面颗粒的尺寸和数量将会极大的影响到沉积薄膜的质量,并影响硅片几何特征的形成.主要针对不同掺杂剂的200mm重掺衬底硅片在进行常压化学气相
【机 构】
：
北京有色金属研究总院,北京100088;有研半导体材料有限公司,北京100088;有研半导体材料有限公司,北京,100088
论文部分内容阅读
在重掺硅衬底片背封过程中,硅片表面颗粒的尺寸和数量将会极大的影响到沉积薄膜的质量,并影响硅片几何特征的形成.主要针对不同掺杂剂的200mm重掺衬底硅片在进行常压化学气相沉积(atmospheric-pressure chemical vapor deposition,APCVD)生长SiO2薄膜前的颗粒沾污开展研究.将经过相同清洗及干燥工艺处理的硅片放置于有风机过滤机组(fan filter unit,FFU)存在的百级环境中,利用表面激光扫描方法对硅片表面粒径在0.3～0.5 μm范围的颗粒进行测试,分析重掺衬底硅片表面颗粒随存放时间的增长情况.结果 表明:在有FFU存在的百级环境中,随存放时间的延长:(1)同种掺杂剂硅片表面颗粒呈增长趋势,且粒径小的颗粒增长幅度较大;(2)不同掺杂剂硅片中,相比于重掺As,Sb的硅片,重掺B硅片表面颗粒的增长速度最快,而其他两种掺杂剂硅片表面颗粒增长速度相对较缓且差别不大.
其他文献
采用原位法在低温下一步合成Ag/Fe2O3磁性核壳纳米粒子,并采用XRD,TEM和UV光谱研究了Ag-Fe2O3核壳纳米复合材料的结构。结果表明,纳米银粒子表面被Fe2O3层包覆,Ag核的平均粒
异构网络通过布设一些低功率的基站大幅提升频谱效率,同时也带来了严重的干扰,迫切需要一种多点协作传输方法避免干扰.针对此问题,提出了一种异构网络下基于空时分组码块对角
《义务教育数学课程标准》的目的是:人人学有价值的数学;人人都能获得必需的数学;不同的人在数学上得到不同的发展。如何在数学教学中使学生轻松、愉快的学好数学,获得对数学
为了改善TC4的腐蚀磨损性能,采用双层辉光等离子表面冶金技术对Ti6Al4V钛合金进行W-Mo共渗,并对其腐蚀磨损性能进行研究.结果表明:在Ti6Al4V钛合金表面W-Mo共渗可形成均匀的
“真”是庄子思想中的核心观念之一，历来为人所重视。当前学术界对庄子“真”观念的阐释主要有两种路向:第一种是把“真”作形而上的把握，即从本体论的角度来理解“真”，认为庄
D.C.Harrison教授是美国斯坦福大学医学院心脏科主任,现任美国心脏病学会主席,应中华医学会新疆分会的邀请来乌鲁木齐,于1982年8月23日上午在新疆医学院作了本题目的学术报告
洋地黄中毒时最常引起心律失常,如频发室性早搏,呈二、三联律或房室传导阻滞等。这些心律失常,也见于心力衰竭而洋地黄用量不足时。对两者的鉴别除应结合用药剂量和有无诱发
为明确栽培环境对铁皮石斛的生长及代谢成分的影响,对铁皮石斛C13品系在岩壁附生、梨树附生和设施盆栽3种栽培环境下进行形态特征、显微结构、多糖和浸出物含量的观察与分析
针对常规自适应网格多模型滤波方法存在的模式跟踪能力不强,在系统模式发生大幅度跳变时,滤波模型集难以快速适应模式变化,容易出现模式跟踪失败的问题,模拟生物免疫系统识别