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针对压力梯度法屈服强度测量实验技术,通过金刚石压砧对Mo薄箔样品的压缩实验,结合有限元模拟对金刚石的弹性变形和样品的弹塑性变形历史的计算,分析了金刚石的弹性压缩变形和“杯形”变形(Cupping)对压力梯度法原位厚度测量以及样品表面压力分布的影响。结果表明,至少在实验最高压力31.0GPa以内,忽略金刚石的弹性压缩变形具有合理性,金刚石“杯形”变形较为明显,对有限元模拟和实验测量给出的压力分布曲线分析表明,该变形使台面边沿样品表面的压力分布略微偏低,但在31.0GPa以内,对压力分布以及压力梯度没有影响。