激光剥离GaN／Al2O3材料温度分布的解析分析

来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wlxqzs

【摘要】

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分析了脉冲激光作用下GaN的衬底剥离过程.利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了分界面温度和脉冲宽度的关系.表明,

【作者】

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黄生荣刘宝林

【机构】

：

厦门大学物理系

【出处】

：

光电子·激光

【发表日期】

：

2004年7期

【关键词】

：

激光剥离 GaN/Al2O3材料温度分布脉冲宽度 AluminaHeat transferNumerical methodsSemiconducting g

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分析了脉冲激光作用下GaN的衬底剥离过程.利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了分界面温度和脉冲宽度的关系.表明,单脉冲作用下分界面的温度与加热时间的平方根成正比,并得出脉冲过后随着深度变化温度梯度的分布.在连续脉冲作用时,分界面的温度呈锯齿状不断升高.

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