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采用了纳秒激光与水射流耦合加工技术,使用不同的激光特性参数及水射流参数对304不锈钢、碳化硅、硅晶圆进行划槽实验,都获得了较好的加工质量,验证了纳秒激光与水射流耦合能束蚀除材料的优越性。
纳秒激光与水射流耦合加工实验研究
【摘 要】
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采用了纳秒激光与水射流耦合加工技术,使用不同的激光特性参数及水射流参数对304不锈钢、碳化硅、硅晶圆进行划槽实验,都获得了较好的加工质量,验证了纳秒激光与水射流耦合能
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2020年S01期
【基金项目】
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国家重点研发计划(2018YFB1107600)
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