电弧离子镀制备TiN、CrN、TiCN、AlTiN和TiSiN涂层性能研究

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电弧离子镀制备TiN、CrN、TiCN、AlTiN和TiSiN广泛应用的硬质涂层,采用XRD、SEM检测涂层的结构及表面磨损形貌,采用显微硬度计、摩擦磨损仪检测涂层的硬度及摩擦系数及电化学工作站分析测试涂层的耐腐蚀性能,得到:TiN、CrN、TiCN、AlTiN和TiSiN涂层均为面心立方结构,CrN硬度2000HV,各种摩擦条件下摩擦系数稳定在0.6左右,自腐蚀电流密度3.2×10-6 A/cm2。TiSiN涂层硬度最高3000HV。TiCN涂层摩擦系数最低,稳定阶段在0.25。TiN和AlT
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