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本文简要阐述MEMS振荡器的工作原理、性能特点和发展前景。
MEMS振荡器的技术简介和发展前景
【摘 要】
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本文简要阐述MEMS振荡器的工作原理、性能特点和发展前景。
【机 构】
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华东电子集团公司
【出 处】
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光电技术
【发表日期】
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2008年3期
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