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为提高在高温条件下选择性吸收涂层的性能，采用金属粒子注入介质基体中形成的金属陶瓷作吸收材料，制成金属陶瓷复合薄膜，它具有优良的光学性能和热稳定性。根据对金属陶瓷膜系的光学性能进行理论计算的结果，采用磁控多靶反应共溅射的方法对膜系进行反演寻优工艺实验。
M—AlN太阳选择性吸收涂层的研制
【摘 要】
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为提高在高温条件下选择性吸收涂层的性能，采用金属粒子注入介质基体中形成的金属陶瓷作吸收材料，制成金属陶瓷复合薄膜，它具有优良的光学性能和热稳定性。根据对金属陶瓷膜系的
【机 构】
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北京市太阳能研究所
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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2000年1期
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