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重点介绍了利用弹性二次电子方便快捷地测量多功能电子能谱的能量分辨率和通道倍增器的工作曲线.并与常规方法进行了比较,结果一致.测量发现当电子束流增大到一定程度时,测出的弹性电子峰严重畸变,电子倍增器工作在饱和状态.对出现饱和的机理进行了讨论.
用弹性电子测量能谱仪能量分辨率和电子倍增器的工作曲线
【摘 要】
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重点介绍了利用弹性二次电子方便快捷地测量多功能电子能谱的能量分辨率和通道倍增器的工作曲线.并与常规方法进行了比较,结果一致.测量发现当电子束流增大到一定程度时,测出
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心北京100875
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年2期
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