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从材料、几何结构、柔性铰链、驱动器、运动与负载及加工等几个方面总结了面向精密作业的柔性机器人设计准则.对柔性机器人的设计方法进行了探讨.以精密作业中的具体应用为例,依据这些设计方法与准则,从机械本体和驱动器控制2个方面详细描述了可实现纳米级精度的3自由度柔性机器人样机设计的具体实现过程,设计结果满足任务要求.