超精密大口径非球面加工关键技术研究

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针对光学大口径非球面加工难度大等问题,通过分析其轴对称非球面方程及加工误差,给出砂轮加工的几何模型,分析误差产生的原因并提出解决策略.同时,采用四轴联动超精密铣磨机床和圆角砂轮实际加工非球面,检测其面形精度并进行误差对比分析.结果表明:①在加工精度和稳定性上,圆角砂轮比平行砂轮有较大优势;②砂轮的壁厚与工件加工量相近时,砂轮的磨损变形较小,工件的面形精度较高;③为了提高工件加工精度,可以相应增大砂轮的圆角半径.
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