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本文利用扫描电镜对热解化学汽相沉积法生长的金刚石薄膜组织进行了观察分析,看到了九种不同形貌的金刚石薄膜组织,讨论了这些组织的特点。
热解法生长金刚石薄膜的形貌分析
【摘 要】
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本文利用扫描电镜对热解化学汽相沉积法生长的金刚石薄膜组织进行了观察分析,看到了九种不同形貌的金刚石薄膜组织,讨论了这些组织的特点。
【机 构】
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湖南大学,湖南大学长沙,长沙,长沙
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1990年3期
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