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利用直流磁控溅射法，在玻璃衬底上制备掺锰氧化锌（ZnO ∶Mn）透明导电薄膜．研究了溅射功率对薄膜结构、力学性能和光电性能的影响．功率对薄膜应力影响不是很大，且应力均为负值，表现为压应力．溅射功率通过改变晶粒尺寸和结晶程度而影响薄膜的导电性能：当溅射功率为135 W 时，薄膜的电阻率具有最小值为1．10×10^－2Ω·cm．实验表明，功率是影响 ZnO ∶Mn 薄膜性能的一个重要参量．