N离子注入非晶碳膜的CN成键研究

来源 :吉林大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:Jesses41
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利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N,sp2 C--N 和C≡N键.随着N离子注入剂量的增加,膜内sp3 C--N键的含量相对增多,表明N离子注入更有利于sp3 C--N键的形成.
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