【摘 要】
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高纯石英是石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在高新技术产业中具有极大地利用价值和不可取代的地位.随着天然水晶资源的持续减少,高纯合成石英的研究逐渐受到重视.本文全面地介绍了高纯石英的特性、合成制备技术及其研究现状,另外阐述了高纯合成石英的重要应用.认为采用多晶硅生产副产物SiCl4的液相水解法以制备高纯石英是一种符合可持续发展要求且具有潜在生产价值的技术方法.
【机 构】
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中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471023;洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471023
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高纯石英是石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在高新技术产业中具有极大地利用价值和不可取代的地位.随着天然水晶资源的持续减少,高纯合成石英的研究逐渐受到重视.本文全面地介绍了高纯石英的特性、合成制备技术及其研究现状,另外阐述了高纯合成石英的重要应用.认为采用多晶硅生产副产物SiCl4的液相水解法以制备高纯石英是一种符合可持续发展要求且具有潜在生产价值的技术方法.
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