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本文综述了目前国内外在工作波长１．３－１．５μｍ的ＳｉＧｅ／Ｓｉ超晶格探测器的工作波长为８－１２μｍ的ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结长波长红外探测器方面的研究进展，并分析了存在的问题和材料的各种生长方法。
SiGe／Si光电探测器研究进展
【摘 要】
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本文综述了目前国内外在工作波长１．３－１．５μｍ的ＳｉＧｅ／Ｓｉ超晶格探测器的工作波长为８－１２μｍ的ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结长波长红外探测器方面的研究进展，并分析了存在的问题和材料的各种生长方法。
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1997年3期
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