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利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体。测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率<0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备。
真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜
【摘 要】
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利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体。测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2011年06期
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