软X射线显微术光束线结构设计及真空处理

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合肥同步辐射装置上的软X射线显微术光束线专用于生物样品研究。电子储存环BL<sub>12</sub>窗口引出同步光至超高真空室,经分束镜,光阑、薄窗、波带片、针孔和微波带片等产生生物样品试验所要不同通量和不同波长的单色光。其光学系统见图1。该光束线装有一台软X射线波带片线性扫描单色仪。三块不同参数波带片在真空室里沿轴向移动220mm,使同步光单色,按不同波长汇聚于光轴,针孔后可获得通量10<sup>9</sup>光子/秒、波长20(?)到54(?)的单色光。
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