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设计了水平沉积系统,物理气相生长了并四苯晶体.仅用10～30mg的源,得到了面积达20mm2 的片状晶体.报道了可重复性的晶体生长条件.测试表明,晶体表面光滑,结构非常有序.
并四苯晶体的物理气相沉积
【摘 要】
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设计了水平沉积系统,物理气相生长了并四苯晶体.仅用10～30mg的源,得到了面积达20mm2 的片状晶体.报道了可重复性的晶体生长条件.测试表明,晶体表面光滑,结构非常有序.
【机 构】
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吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学集成光电子学?
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2001年6期
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