【摘 要】
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<正> 近年来,半导体工业在微细加工技术方面取得了令人震惊的进步,集成电路每块芯片上的元件数也正在急剧地增加着。针对微细的LSI制造工艺这种迅速进步的情况,有关的外围行
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<正> 近年来,半导体工业在微细加工技术方面取得了令人震惊的进步,集成电路每块芯片上的元件数也正在急剧地增加着。针对微细的LSI制造工艺这种迅速进步的情况,有关的外围行业生产也需要有相应的发展,化学药品当然也不例外。LSI制造工艺中使用的药品,包括有机药品和无机药品,种类相当繁多。随着器件的高密度化,不仅要求尽量减少药品中可能引起器件劣化的金属杂质,而且对于大大影响产品成品率等的微粒(尘埃),最
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