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基于0.13 μm SiGe BiCMOS 工艺,设计了一个应用于0.34 THz 高速通信系统的4 路集成相控阵发射机芯片.该芯片集成了21.25 GHz 的 锁相环（PLL）频率源、4 倍频器、4 路威尔金森（Wilkinson）功分网络,每一路相控阵通道包括85 GHz 功率放大器、模拟移相器、20 Gbps 二进制启闭键控（OOK）调制器、4 倍频器以及2×2 片载天线阵列.针对系统各个模块进行了测试和分析,并且对系统方向图进行了仿真.仿真结果表明,该相控阵系统能在E 面实现±