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本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用.指出聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,成为材料科学、微纳加工、半导体器件制造等应用中的一种重要手段.尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众多研究者的青睐.
聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用
【摘 要】
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本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用.指出聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,成为材料科学、微纳加工、半导体器件制造等应用中的一
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室,北京100084
【出 处】
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2013年度北京市电子显微学研讨会暨第九届全国实验室科学管理交流会
【发表日期】
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2013年7期
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