【摘 要】
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主要研究对象为GaInP太阳电池薄膜材料,生长参数采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应室内气体热流场CFD的数值模拟结果,通过动力学蒙特卡洛（KMC）法对薄膜的生长过程进行计算模拟
【机 构】
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三江学院电子信息工程学院,南京新奥太阳能有限公司
【基金项目】
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2014年江苏省高校自然科学基金（14KJD510009）
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主要研究对象为GaInP太阳电池薄膜材料,生长参数采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应室内气体热流场CFD的数值模拟结果,通过动力学蒙特卡洛（KMC）法对薄膜的生长过程进行计算模拟,得到了数据的分布形式及通信的优化策略并同时降低通信开销,在已知沉积条件的情况下对以大量粒子为基础的薄膜的生长情况进行了仿真分析,这有效地解决了计算机单机能力不足的情况,同时大大降低了仿真的时间。经过分析可知,模拟所得结果与试验结果一致,这为优化在MOCVD技术下GaInP薄膜生长的工艺参数提供了一定的理论依据。
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