在传输机上电镀膜层的方法

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在传输机上电镀膜层的方法包括以下步骤:将传输机表面清洁干净;喷射氢和四甲基硅烷气体,然后应用电流在工作腔室内产生一个偏电场,从而在传输机上形成一层附着的膜;喷射烃和氢及四甲基硅烷气体进入工作腔室内,从而在附着的膜上形成复合膜,同时保持偏电场的电压在400-700V,功率控制在8001500W,从而在复合膜上形成非晶类金刚石薄膜。
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