【摘 要】
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对于半导体器件来说,金属电极的制备工艺是必不可少的。而组件较之单元尤为重要。其电极质量的优劣,直接关系到器件性能是否能充分发挥。然而,电极质量的优劣,又是与电极材料
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对于半导体器件来说,金属电极的制备工艺是必不可少的。而组件较之单元尤为重要。其电极质量的优劣,直接关系到器件性能是否能充分发挥。然而,电极质量的优劣,又是与电极材料的选择和电极的制备工艺密切相关。本文主要论述了InSb光伏多元红外探测器件的电极材料选择和电极制备工艺。
For semiconductor devices, metal electrode preparation process is essential. The component is more important than the unit. The pros and cons of the electrode quality, is directly related to whether the device performance can give full play. However, the pros and cons of electrode quality, but also with the electrode material selection and electrode preparation process is closely related. This article mainly discusses the electrode material selection and electrode preparation process of InSb PV multivariate infrared detection device.
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