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采用磁控溅射法在铜箔集流体上沉积得到了厚度约2μm的非晶硅薄膜。X-射线衍射（XRD）、高分辨率透射电镜（HRTEM）和选区电子衍射（SAED）分析表明，该薄膜为非晶态。扫描电镜（SEM）结果表明，该硅电极在电化学吸、放锂循环后体积膨胀率为300％，但电池依然保持良好的循环寿命。在1．5～0．005V（vsLi^＋／Li）和0．1mA·cm^2条件下，该薄膜电极循环100次后容量仍能保持在0．47mAh·cm^-2以上，为初始容量的84％。每周容量衰减率仅为初周的0．16％。HRTEM