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以二甲基二氯硅烷和乙醇气嘧《相醇解反应制得单乙氧基二甲基氯硅烷，然后加入催化剂FeCl3回流反应制得中间体二氯四甲基二硅氧烷，进一步在无水乙醚中用CaH2还原中间体得到1，1，3，3-四甲基二硅氧烷，产率高达86％．同时对影响产率的因素进行了系统探讨，并通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱确认了1，1，3，3-四甲基二硅氧烷的结构．与其他方法相比，该法原料易得，操作简便，价格低廉，易实现工业化．