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射频等离子体中绝缘基片上自偏压的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dingwenqi65118290

【作 者】

：

潘永强 

【出 处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2006年05期

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