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拉曼系列和扫描电子显微镜(SEM ) 技术被用来决定微晶质的硅的结构的性质(c-Si : H ) 与高频率在不同底层上扔的电影提高血浆的化学蒸汽免职(VHF-PECVD ) 技术。用拉曼系列，水晶的体积部分 Xc 和平均谷物尺寸 d 的价值是 86% ， 12.3nm；65% ， 5.45nm；并且 38% ， 4.05nm 为单个水晶的硅晶片， corning 7059 玻璃，和一般光玻璃底层分别地。SEM 图象进一步在电影表面粗糙上表明底层效果。为单个水晶的硅晶片和 Corning 7059 玻璃，