300mm硅片双面抛光机的优化设计

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首先介绍了抛光机的抛光原理,针对传统抛光机的不足,提出了新的改进措施:在传动结构上,采用了齿圈太阳轮同步升降及销齿传动,避免在加工过程中长期在同一高度位置啮合,导致齿圈太阳轮局部磨损而造成使用寿命快速缩短的现象,提高了零件的接触刚度和使用寿命;在上下抛光盘温度控制方面,上下抛光盘采用多个进水口与出水口的结构,能在最短的时间内达到冷却的效果;在压力控制方面,采用多段压力,拉力传感器检测工件受力,并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制;在控制方面,采用多点温度监测,严格地控制抛光液的进液温度:在电气系统方面
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