ZrO2介质膜的光热吸收研究

来源 :四川师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:serene_he
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报道了用直流反应溅射法在低氧分压条件下(6.0×10^-3~8.0×10^-3Pa)沉积ZrO2介质膜的制备工艺,XRD分析表明该条件下制备的zd02介质膜结构均为非晶态,表面光热技术测量其在10.6um波长下的吸收系数为1.223×10^-3~1.285×10^-3cm^-1,且吸收率随氧分压的升高而降低.这表明,表面光热测量是一种既简单又有很高灵敏度的实时检测技术,而在直流反应溅射法中氧分压是一个非常敏感的工艺参数,并显著地影响着膜层的光吸收.
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