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本文讨论各平板各自的平面度在干涉仪光学系统中的相互叠加对量块长度的测量结果的影响。
引入平板系统对量块长度测量结果的影响
【摘 要】
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本文讨论各平板各自的平面度在干涉仪光学系统中的相互叠加对量块长度的测量结果的影响。
【机 构】
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中国计量科学研究院,中国航空工业总公司
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1997年8期
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