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以多孔阳极氧化铝膜（anodic aluminum oxide，AAO）为模板，用磁控溅射的方法制备纳米孔洞阵列金膜，SEM结果表明，制备得到的纳米孔洞阵列金膜形貌与AAO模板形貌一致，孔洞阵列规则，孔径大小均匀。此方法适合于纳米孔洞阵列金膜的复制，为纳米线、量子点等纳米阵列材料的组装与合成提供新的条件。