【摘 要】
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以电容式MEMS加速度计的悬臂梁结构为研究对象，分析了振动环境下MEMS加速度计的典型失效模式及失效机理；在Miner理论的基础上，引入了应力-寿命曲线，建立了疲劳可靠性模型；在考虑强度退化前提下，基于应力强度干涉理论建立了塑性形变可靠性模型；运用蒙特卡洛法验证了两种可靠性模型的准确性，并分析了模型关键参数对可靠度的影响。结果显示，振动应力水平和材料的屈服强度对可靠度有显著的影响，减小应力幅值，增
【基金项目】
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国家重点研发计划项目（2020YFB2008901）； 安徽省发改委研发创新项目（JZ2021AFKJ0050）； 安徽省工程技术研究中心项目（PA2022AKGY0012）； 中央高校基本科研业务费专项项目（JZ2021HGQA0254,JZ2021HGTA0147）；
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以电容式MEMS加速度计的悬臂梁结构为研究对象，分析了振动环境下MEMS加速度计的典型失效模式及失效机理；在Miner理论的基础上，引入了应力-寿命曲线，建立了疲劳可靠性模型；在考虑强度退化前提下，基于应力强度干涉理论建立了塑性形变可靠性模型；运用蒙特卡洛法验证了两种可靠性模型的准确性，并分析了模型关键参数对可靠度的影响。结果显示，振动应力水平和材料的屈服强度对可靠度有显著的影响，减小应力幅值，增大屈服强度，可以提高MEMS加速度计的可靠性。
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