论文部分内容阅读
英国威格斯公司推出的新型复合材料TF-60C是采用VICTREXPEEK聚合材料、Celazole聚苯并咪唑及碳纤维增强技术生产的,是在VICTREXT系列基础上推出的一种专有共混产品。这种新型碳纤维产品具有高强度、高模量、低蠕变等特点,是整体综合特性最佳的高性能材料之一,适合要求极高的半导体行业应用，如旋涂、蚀刻及PVD工艺中的焊接工具、装载盒、晶圆转运箱及泵房部件等。