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本文采用多弧离子镀技术在特种材料表面制备TiN薄膜.利用扫描电镜和X射线衍射仪对TiN薄膜的形貌、成分结构、残余应力进行研究,结果表明:薄膜表面粗糙度较大;薄膜由TiN单相组成,以(111)晶面为主;TiN薄膜存在较大残余压应力,经过保温热处理后,薄膜的残余应力显著下降.
特种材料表面镀TiN薄膜的结构与应力研究
【摘 要】
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本文采用多弧离子镀技术在特种材料表面制备TiN薄膜.利用扫描电镜和X射线衍射仪对TiN薄膜的形貌、成分结构、残余应力进行研究,结果表明:薄膜表面粗糙度较大;薄膜由TiN单相组
【机 构】
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北京航天仪器控制研究所
【出 处】
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导航与控制
【发表日期】
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2004年期
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