【摘 要】
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为改善电感位移校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏/微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围定位。在简述校准方法工作原理及结构之后,对
【机 构】
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黑龙江省计量检定测试院,哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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为改善电感位移校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏/微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围定位。在简述校准方法工作原理及结构之后,对以静压双V导轨/直线电机组合的宏动平台及以柔性铰链/压电陶瓷组合的微动平台进行动力学建模,并获得宏微平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,对比两种控制策略下的测量结果并分析原因。设计并搭建实验平台后进行校准装置的性能测试,实验结果表明：宏动跟随微动控制策略具有更高的动态频响性能,校准装置在全行程20 m
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