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结合真空微电子技术、MEMS技术和传感器技术,依据冷阴极场致发射的原理,设计了一种带过载保护功能的新型真空微电子加速度传感器.介绍了传感器的工作原理,设计了传感器的信号检测电路,并通过OrCAD软件进行了模拟.初步实验结果表明:该传感器的研制是完全可行的,而且比其他传感器具有更好的性能.
一种真空微电子加速度传感器及其信号检测电路
【摘 要】
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结合真空微电子技术、MEMS技术和传感器技术,依据冷阴极场致发射的原理,设计了一种带过载保护功能的新型真空微电子加速度传感器.介绍了传感器的工作原理,设计了传感器的信号
【机 构】
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重庆大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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微米/纳米加工技术国家重点实验室和模拟集成电路国防重点实验室开放基金资助项目
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