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采用水溶液法在电沉积的ZnO种子层上制备了高度取向的ZnO纳米棒阵列．并通过碱溶液化学腐蚀法获得了ZnO纳米管。对ZnO纳米棒和纳米管的溶液生长和腐蚀过程进行了分析。结果表明，种子层的结构和性能对ZnO纳米棒有着重要的影响，在-700mV电位下沉积的种子层薄膜均匀性好，生长的纳米棒密度大、与基底垂直性好；碱溶液对纳米棒的腐蚀具有选择性，通过控制腐蚀液的浓度和时间，可获得中空的ZnO纳米管。