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采用射频溅射方法在Ar+O2气氛中制备了Cd2SnO4(CTO)透明导电薄膜,报道了在不同氧浓度和衬底温度下该膜的透射率、消光系数和折射率随波长变化的情况。研究发现:氧浓度越高,衬底温度越高,则薄膜透射率、折射率越大,而消光系数越低。对这些结果,从CTO膜的晶格九,氧空位等角度进行了理论分析。