【摘 要】
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多线切割技术是半导体硅片加工产业中的一个新生力量,它以独特的优势迅速成为当前硅切片加工中最先进的方法。机床结构的动态性能直接关系物料的加工质量,为保证机床运行的稳
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所
【基金项目】
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高等学校学科创新引智计划资助（B07018）
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多线切割技术是半导体硅片加工产业中的一个新生力量,它以独特的优势迅速成为当前硅切片加工中最先进的方法。机床结构的动态性能直接关系物料的加工质量,为保证机床运行的稳定性,本文对整机动力学性能进行分析,研究机械结构的合理程度。建立本体结构三维模型后,应用有限元方法基于ANSYS软件求解模态,得到各阶固有频率和振型;运用动力学软件ADAMS分析机械系统振动特性,求得机床各关键部件的频率响应。对机构设计的正确性做出理论判断,并为进一步改进指出方向,有利于提高多线切割机的性能和提高加工质量。
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