【摘 要】
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本文介绍了半导体气敏传感器的气敏原因,并主要研究了SnO_2超微粒气敏膜的粒径大小与成膜工艺条件的关系。从对膜的透射电镜及X射线衍射分析的结果得出如下结论:在同样的溅射
【机 构】
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广东工学院实验研究中心,华南理工大学,
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本文介绍了半导体气敏传感器的气敏原因,并主要研究了SnO_2超微粒气敏膜的粒径大小与成膜工艺条件的关系。从对膜的透射电镜及X射线衍射分析的结果得出如下结论:在同样的溅射功率条件下,当气压升高时,膜的粒径减少;在同样的气压条件下,当溅射功率升高时,膜的粒径也减少。
In this paper, the gas sensitivities of semiconductor gas sensors are introduced, and the relationship between the particle size of SnO_2 gas-sensing membranes and the film-forming conditions is mainly studied. From the results of transmission electron microscopy and X-ray diffraction analysis, we can draw the following conclusions: under the same sputtering power, the particle size decreases when the pressure increases; under the same pressure condition, when the sputtering power As it rises, the particle size of the membrane also decreases.
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