【摘 要】
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通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数，可得到存在一定冗余度的一组测量结果，经过一定的逻辑混合；可实观测量分辨率优于０．１ｎｍ，测量范围不受λ／２周期限制，从而克服了以往单一
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通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数，可得到存在一定冗余度的一组测量结果，经过一定的逻辑混合；可实观测量分辨率优于０．１ｎｍ，测量范围不受λ／２周期限制，从而克服了以往单一采用相位测量法测量范围限于一个周期和锁相倍频计数法分辨率不易提高的难题。给出了在实际纳米测量干涉仪采用这种外差信号处理方法的测量结果。
By performing phase detection and phase-locked frequency doubling counting on the heterodyne interference signal simultaneously, a set of measurement results with certain redundancy can be obtained, and after a certain logic mixing, the resolution of the real measurement is better than 0.1 nm and the measurement range is not By the λ / 2 cycle limit, thus overcoming the single use of phase measurement method measuring range is limited to one cycle and lock-in frequency doubling counting method is not easy to improve the resolution of the problem. The measurement results of this heterodyne signal processing method are given in the actual nano-meter interferometer.
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