单片式ZnO—SiO_2—Si结构西沙瓦波卷积器

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本文简述了单片式ZnO—SiO_2—Si结构西沙瓦波卷积器的原理、结构、设计、制作和实验结果,以及该器件的优点和应用前景。最后讨论了Si衬底切割和传播方向的最佳选择及增大带宽的途径。 In this paper, the principle, structure, design, manufacture and experimental results of the monolithic ZnO-SiO_2-Si structure Xisabava wave convolver are briefly described. The advantages and application prospects of the device are also described. Finally, the best choice of cutting and propagation direction of Si substrate and the way to increase the bandwidth are discussed.
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