【摘 要】
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为了提高超精密级二维工作台的运动定位精度,提出了一种实现工作台系统误差分离的二维自标定算法。基于工作台测量误差模型,该算法利用辅助标记板的5个不同测量位姿,分别得到
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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为了提高超精密级二维工作台的运动定位精度,提出了一种实现工作台系统误差分离的二维自标定算法。基于工作台测量误差模型,该算法利用辅助标记板的5个不同测量位姿,分别得到迭代模型和迭代初始值,最终建立完整的迭代二维自标定模型。应用该算法对系统误差为0.2μm的二维工作台进行仿真,结果显示：当不存在随机测量噪声时,标定精度为0.33nm;引入随机测量噪声时,标定精度与噪声同一量级。对x、y向给定测量精度分别为2.98μm和3.22μm的二维工作台进行自标定,得到x、y向测量精度分别为2.59μm和3.14μm。提
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