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采用电沉积铜锌锡（Cu-Zn-Sn,CZT）合金预制层后退火制备薄膜太阳电池用吸收层材料铜锌锡硫（Cu2ZnSnS4,CZTS）。利用扫描电镜、X线能量色散谱仪、X线衍射仪、拉曼光谱等检测方法对不同预制层成分下制备的CZTS薄膜的表面形貌、成分和物相结构进行表征与分析。研究结果表明：随着预制层中铜摩尔分数的增加,CZTS薄膜（112）面衍射峰半峰宽呈现先减小后增大的趋势,在物质的量比n（Cu）/n（Zn＋Sn）=0.83和n（Zn）/n（Sn）=1.31的条件下获得半峰宽最小、结晶性能最好的CZTS薄膜;