【摘 要】
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针对宽温度范围应变测量的温度干扰问题,提出并研究了基于双谐振器的声表面波应变传感器.理论上,结合微扰理论、有限元方法、有效介电常数法分析出双谐振器频率与应变、温度
【机 构】
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中国科学院声学研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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中国科学院重点部署项目（KFZD-SW-415）,国家重点研发计划（2016YFB0402705）,声学所青年英才计划（QYNC201616）
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针对宽温度范围应变测量的温度干扰问题,提出并研究了基于双谐振器的声表面波应变传感器.理论上,结合微扰理论、有限元方法、有效介电常数法分析出双谐振器频率与应变、温度的关系公式,进而推导出应变与温度关于这两组谐振器频率变化的表达式.实验上,搭建宽温度范围的实验平台,在Y＋34°切向的石英基片上制作该传感器芯片,测得传感器芯片在30 ℃-180 ℃下的频率响应,将测得的谐振器频率代入表达式计算得到温度与应变值,与实验中参考温度与应变的值基本吻合.
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