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论述了使用原子力显微镜测量超光滑光学表面的优点及其在光学领域中的重要应用。列举了用这种方法测试得到的超光滑光学表面微轮廓图及纳米量级的微缺陷，以及这些表面镀膜前后表面形态结构和微粗糙度的变化。作为比较，列举了用干涉轮廓仪测得相同表面的微粗糙度参数等８。由于原子力显微镜有三维的高精度，而干涉方法只有一维的高精度，所以前者可以得出表面真实形貌和微轮廓。