【摘 要】
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采用直流反应磁控溅射法，用Zn（99．99％）掺Al（1．5％）靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO（AZO）薄膜，用紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析，并对AZO薄膜的折射率和厚度
【机 构】
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重庆邮电大学数理学院,郑州铁路职业技术学院信息工程系,重庆邮电大学光电工程学院
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采用直流反应磁控溅射法，用Zn（99．99％）掺Al（1．5％）靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO（AZO）薄膜，用紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析，并对AZO薄膜的折射率和厚度进行了理论分析。薄膜的光谱分析结果表明：薄膜样品的可见光透射率平均值均在80％以上。AZO薄膜在紫外有很强的吸收峰，在红外区域，其反射率可达70％。通过理论计算得出了AZO薄膜样品的厚度为101nm，与台阶仪测量的结果基本相符。
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