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等离子辅助制备单元层厚度的铁电薄层及其铁电性的表征
等离子辅助制备单元层厚度的铁电薄层及其铁电性的表征
来源 :无机化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gengboy
【摘 要】
:
我们报道了一种通过机械剥离和Ar+等离子体减薄过程的组合来制备3.6 nm厚的二维双(苄基铵)四氯化铅(BA2PbCl4)的薄层。压电力显微镜测量表明,Ar+等离子体蚀刻后单元层厚度的B
【作 者】
:
葛静
宋贤江
杜国威
李浩杰
游雨蒙
【机 构】
:
东南大学化学化工学院
【出 处】
:
无机化学学报
【发表日期】
:
2020年6期
【关键词】
:
BA2PbCl4薄层
铁电性
氩等离子体刻蚀
BA2PbCl4 flakesferroelectricityAr~+Plasma etching
【基金项目】
:
国家自然科学基金(No.21925502)资助
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我们报道了一种通过机械剥离和Ar+等离子体减薄过程的组合来制备3.6 nm厚的二维双(苄基铵)四氯化铅(BA2PbCl4)的薄层。压电力显微镜测量表明,Ar+等离子体蚀刻后单元层厚度的BA2PbCl4薄层的铁电性仍然保持。
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