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文章针对早期热壁卧式LPSIN系统所遇到的颗粒问题，详细阐述了颗粒问题产生的原因，包括DCS气体、工艺压力、反应生成物。针对这些颗粒成因提出了相应有效的优化方法，通过实践每一种优化方法都可以降低LPSIN工艺的颗粒，综合所有优化方法有效地降低了LPSIN工艺的颗粒，极大地延长了设备PM的间隔，提高了LPSIN工艺的质量，大幅提高了设备的流片产能，在不对设备硬件做大的改动的情况下使设备的能力得到了大的改进。